НаноЛаборатория, созданная для решения широкого спектра задач в области атомно-силовой микроскопии (АСМ), предусматривает возможность изучения физических и химических свойства поверхности образца с большой точностью и высоким разрешением. Управляющая электроника нового поколения позволяет работать с высокой скоростью сканирования.
ИНТЕГРА Прима — это многофункциональный прибор для решения наиболее типовых задач в области Сканирующей Зондовой Микроскопии. В возможности прибора входит более 40 измерительных методик, что позволяет изучать физические и химические свойства поверхности образца с высокой точностью и разрешением. Возможно проведение измерений в различных средах - на воздухе, в контролируемой атмосфере, в жидкости. Управляющая электроника нового поколения позволяет работать в высокочастотных режимах (до 5 мГц). Эта возможность оказывается принципиальной при работе с высокочастотными модами Атомно-Силовой Микроскопии или использовании высокочастотных кантилеверов.
В ИНТЕГРА Прима реализовано несколько режимов сканирования – сканирование образцом, сканирование зондом и двойное сканирование. За счет этого система идеально подходит как для исследования небольших образцов со сверхвысоким разрешением (атомарно-молекулярный уровень), так и для больших образцов и диапазона сканирования 100х100х10мкм. Уникальный режим двойного сканирования DualScan TM позволяет изучать еще большие области на поверхности образца до 200х200 мкм по X,Y и до 22мкм по Z, что может быть полезно, например, для живых клеток или компонентов МЭМС.
Встроенные емкостные датчики обратной связи по всем трем координатам отслеживают реальное перемещение сканера и компенсируют такие неизбежные совершенства пьезокерамики как нелинейность, гистерезис и крип. Используемые в оборудовании НТ-МДТ датчики имеют самый низкий уровень шума, что позволяет работать с включенным контролем обратной связи даже на малых полях – до 10х10нм. Это особенно ценно для проведения наноманипуляций и при работе в режимах литографий. В ИНТЕГРА Прима используется встроенная оптическая система с разрешением до 1 мкм, что позволяет наблюдать за процессом сканирования в реальном времени. За счет открытой архитектуры функциональность ИНТЕГРА Прима может быть существенно расширена. Это могут быть специализированные магнитные измерения с внешним магнитным полем, высокотемпературные исследования, ближнепольная оптическая микроскопия, Раман спектроскопия и т.д.
Тип сканирования |
Сканирование образцом |
Сканирование зондом* |
Размер образца |
До 40 мм в диаметре, |
До 100 мм в диаметре, |
Вес образца |
До 100 г |
До 300 г |
XY позиционирование образца |
5x5 мм |
5x5 мм |
Разрешение позиционирования |
5 мкм минимальное перемещение - 2 мкм |
5 мкм минимальное перемещение - 2 мкм |
Поле сканирования |
100x100x10 мкм |
100x100x10 мкм |
Нелинейность, XY |
0.1% |
0.15%
|
Уровень шума, Z |
С датчиками |
0.04 нм (типично), |
0.06 нм (типично), |
Без датчиков |
0.03 нм |
0.05 нм |
|
Уровень шума, XY |
С датчиками |
0.2 нм (типично), |
0.1 нм (типично), |
Без датчиков |
0.02 нм (XY 100 мкм), |
0.01 нм (XY 50 мкм), |
|
Ошибка измерения линейных размеров
|
±0.5% |
±1.2% |
|
Система видеонаблюдения |
Оптическое разрешение |
1 мкм |
3 мкм |
Поле зрения |
4.5 - 0.4 мм |
2.0- 0.4 мм |
|
Виброизоляция |
Активная |
0.7-1000 Гц |
|
Пассивная |
выше 1 кГц |
Модель | ИНТЕГРА Прима |
измерительных методик | более 40 |
высокочастотные режимы | до 5 мГц |