Подразделение: Научно-исследовательская лаборатория технологии высокопроизводительной механической обработки
Модель | Bruker Contour GT-K1 |
Метод измерения | Вертикальная сканирующая интерферометрия (в белом свете) и фазовая интерферометрия |
Виброизоляция | Виброизоляционный стол |
Длина основания, мм | 150 |
Тип перемещения основания | Моторизованное и программируемое, наклон основания ±6° |
Наклон основания, градус | ±6 |
Наклон головки | Нет |
Источник света | Два долгоживущих светодиода последнего поколения |
Тубусные линзы | 0.55х, 0.75х, 1.0х, 1.5х, 2.0х |
Объективы (парфокальные) | 1,5x, 2,5x, 5x, 10x, 20x, 50x, 100x |
Программное обеспечение | ПО Vision64 для управления профилометром и анализа изображений |
Дополнительное ПО | картирование толщины прозрачных пленок, работа с асферической оптикой, высокоразрешающая интерферометрия вертикального сканирования, совместимость с MATLAB и TCP IP |
Диапазон измерений по вертикали, мм | 0,1·10-6 – 10 |
Скорость вертикального сканирования, мкс/с | 28 |
Разрешение по вертикали (Ra), нм | < 0,08 (фазовая интерферометрия) |
Повторяемость RMS, нм | 0,01 |
Максимальная масса образца, кг | 4,5 |