НИЛ анализа кремниевых структур

Лаборатория является структурным подразделением научно-исследовательского отдела лазерной физики и нанотехнологий

Специализация:

НИЛ занимается исследованием физических свойств и проведением рутинных анализов на содержание примесей в кремниевых материалах (кремний солнечного и полупроводникового качества, кварц, кварцевое стекло) методом ICP-MS спектрометрии. Была создана в связи с выполнением комплексного проекта по созданию высокотехнологичного производства: «Создание комплексного высокотехнологичного производства высокочистых сферических кварцевых гранул для электронной компонентной базы российской федерации», осуществляемого в соответствии с постановлением Правительства Российской Федерации от 09.04.2010 г. № 218 совместно с ОАО «Усольхимпром».

Уникальность:

Лаборатория оснащена новейшим оборудованием, позволяющим производить анализ кремния, кремниевых материалов и чистой воды на содержание сверхнизких концентраций примесей.

Основное оборудование лаборатории – масс-спектрометр ICP-MS «Agilent 7700s» – является современным высокоавтоматизированным прибором с высочайшей декларируемой чувствительностью ко всем основным примесным элементам, содержание которых определяет качество производимых в мире кремниевых материалов для нужд солнечной энергетики и микроэлектроники. Использование данного оборудования исключительно для анализов проб кремния и воды со сверхнизкими концентрациями загрязнений позволит избежать «заражения» аналитического тракта прибора, что обеспечит предельную чувствительность к примесям других химических элементов и достоверность измерений, которые необходимы при отработке технологии производства отечественных высококачественных кремниевых материалов и аттестации продукции. Ведётся подготовка по созданию на базе лаборатории аккредитованного центра, который сможет производить независимую оценку качества для целей арбитража производителей и потребителей кремниевых материалов.

Контактная информация:

664074. г. Иркутск, ул. Игошина 1А (Технопарк), ауд. 101,102, 104, 113, 207
e-mail: plasma@istu.edu